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本发明公开了一种防止晶圆污染的光刻胶收集结构，其结构包括收集斗、支撑脚、出料口、控制按钮、电源线和开合机构，本发明的一种防止晶圆污染的光刻胶收集结构，通过在出料口底部设置了开合机构，按动控制按钮使汽缸底部向上收缩，汽缸带动连接条以连接轴中部...
该专利属于芯米(厦门)半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过芯米(厦门)半导体设备有限公司授权不得商用。

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