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本文描述的实施方式涉及使用嵌入在抛光垫的抛光材料中的一个或多个传感器来检测抛光终点的方法、抛光垫和形成抛光垫的方法。在一个实施方式中，抛光基板的方法包括以下步骤：对着抛光垫的抛光表面(抛光垫具有嵌入在抛光垫的抛光垫材料中的一个或多个传感器，...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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