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光集成元件以及光模块制造技术
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文档序号:25696601
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光集成元件具备:基板;第1波导路区域,其在所述基板上依次层叠下部包覆层、与所述下部包覆层相比而折射率更高的第1芯层和与所述第1芯层相比而折射率更低的上部包覆层;和活性区域,其在所述基板上依次层叠所述下部包覆层、与所述下部包覆层相比而折射率更...
该专利属于古河电气工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过古河电气工业株式会社授权不得商用。
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