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试样支承体及试样支承体的制造方法技术
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文档序号:25696530
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本发明的试样支承体是用于将试样离子化的试样支承体,其包括:基片,其形成有在彼此相对的第一表面和第二表面具有开口的多个第一贯通孔;和导电层,其至少设置于第一表面上的第一贯通孔的周缘部,在设置于相邻的第一贯通孔彼此之间的间隔壁部形成有将相邻的第...
该专利属于浜松光子学株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过浜松光子学株式会社授权不得商用。
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