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具有悬浮膜并在锚边缘具有圆角的电容式压力传感器和其他器件制造技术
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下载具有悬浮膜并在锚边缘具有圆角的电容式压力传感器和其他器件的技术资料
文档序号:25696511
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一种半导体器件,包括集成电路和电容式压力传感器,该电容式压力传感器设置在集成电路之上并且与集成电路电连接。电容式压力传感器包括:第一电极;空腔,其位于第一电极之上;以及第二电极,其包括位于空腔之上的悬浮膜。第二电极还包括横向围绕空腔的导电锚...
该专利属于希奥检测有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过希奥检测有限公司授权不得商用。
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