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本实用新型属于短波段成像光学领域，具体的说是一种极紫外成像光学仪器成像质量测试装置。在本实用新型中设计了如图所表示的检测装置，整个光学系统均处于真空条件下，极紫外光源发出极紫外光束经过精密刻画的金属栅网后，打到反射镜和，最后经过待测极紫外成...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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