【技术实现步骤摘要】
本技术属于短波段成像光学领域，具体的说是一种用于6nm 一100nm波段的极紫外成像光学仪器成像质量测试装置。
技术介绍
对成像光学仪器系统的成像质量评价是光学仪器研发过程中必 不可少的环节，也是仪器应用功能验证的重要指标之一。光学系统成 像质量评价方法主要有星点法、刀口法、阴影法、分辨率测量、调制 传递函数测量等。其中分辨率测量是最简单，最直接的方法。 一般情 况下，大多数可见或红外光学仪器系统采用分辨率测量的的检测方法 和装置如参考图1，表述如下光源1产生的平行光通过鉴别率板2 后经反射镜3和4，最后经过待检成像系统5在探测器6上成像，根 据所成影像中鉴别率板的线对的清晰程度，经过计算既可得到待检成 像光学系统的分辨率数据。随着极紫外光刻光学和空间高分辨率极紫外成像光学系统研究 的深入，迫切需要一种能在极紫外波段检测该波段光学成像系统的成 像质量的装置。对于极紫外成像光学系统的成像质量尤其是分辨率的 检测用前面所述的通常做法是无法实现的。这是因为极紫外光无法 在除真空以外的任何其它介质中传播，而常规的分辨率板都是在石英玻璃或其它光学材料上进行刻画而得到的，...
【技术保护点】
一种用于６ｎｍ－１００ｎｍ波段的极紫外成像光学仪器成像质量测试装置，光源（１）产生的平行光通过鉴别率板（２）后经反射镜（３）和（４），最后经过待检成像系统（５）在探测器（６）上成像，其特征是：所述鉴别率板（２）是精密刻画的金属栅网（７）。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：巩岩，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，
类型：实用新型
国别省市：82[中国|长春]
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