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本发明公开了一种光刻物镜分辨力与传函测试装置，它克服了现有物镜测试仪器只能测试尺寸重量小、测试时可卧倒放置、精度较低的常规小型物镜的缺点。它由减振基板、大支架、照明系统、测试板、显微物镜和ＣＣＤ接收器连接而成的图象接收器、显示器和存储示波器...
该专利属于中国科学院光电技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院光电技术研究所授权不得商用。

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