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一种用于相位步进测量系统的二维衍射光栅，该相位步进测量系统用于确定投影系统的像差映射，该二维衍射光栅包括设置有通孔的正方形阵列的基底，其中衍射光栅是自支撑式的。应当理解，为了使设置有通孔的正方形阵列的基底是自支撑式的，在每个通孔和相邻通孔之...
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