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本申请实施例中提供了一种高压气体采样试验装置及采样试验方法，高压气体采样试验装置包括真空过渡组件、真空测量组件以及采样通道组件；真空过渡组件用于减压获取一定气压的待测高压气体；真空测量组件用于测量所述待测高压气体的气体组成；采样通道组件用于...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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