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本实用新型实施例涉及设备控制技术领域，公开了一种附属设备的控制装置，包括：连接工艺设备的事件服务器、与事件服务器连接的控制服务器；事件服务器获取工艺设备的当前处理事件及当前工作状态；控制服务器的存储模块存储有历史处理事件与历史工作状态数据的...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。

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