【技术实现步骤摘要】
一种附属设备的控制装置
本技术实施例涉及设备控制
，特别涉及一种附属设备的控制装置。
技术介绍
在半导体厂，现有的工艺设备一般具有专用的附属设备，例如：箱式工艺设备具有真空泵和第一气体处理模块等附属设备，以便在每道工序完成时排出有害的工艺气体。然而，专利技术人发现现有技术中至少存在如下问题：一般来说，工艺设备重复处理、闲置、维护周期，这意味着当工艺设备闲置时，附属设备虽然并不进行处理，但依然处于运行状态。既消耗电能又有损于附属设备的使用寿命。
技术实现思路
本技术实施方式的目的在于提供一种附属设备的控制装置，使得既能够节约电能又能够提升附属设备的使用寿命。为解决上述技术问题，本技术的实施方式提供了一种附属设备的控制装置，包括：连接工艺设备的事件服务器、与事件服务器连接的控制服务器；事件服务器获取工艺设备的当前处理事件及当前工作状态，并将当前处理事件及当前工作状态传送至控制服务器；控制服务器包括：存储模块，连接存储模块、并与事件服务器连接的处理模块，连接处理模块、并与附属设备连接的控制模块...
【技术保护点】
1.一种附属设备的控制装置，其特征在于，包括：连接工艺设备的事件服务器、与所述事件服务器连接的控制服务器；/n所述事件服务器获取所述工艺设备的当前处理事件及当前工作状态，并将所述当前处理事件及所述当前工作状态传送至所述控制服务器；/n所述控制服务器包括：存储模块，连接所述存储模块、并与所述事件服务器连接的处理模块，连接所述处理模块、并与附属设备连接的控制模块；/n所述存储模块存储有历史处理事件与历史工作状态数据的对应关系；/n所述处理模块获取所述对应关系，并根据所述工艺设备的当前处理事件、以及所述对应关系，计算在所述当前处理事件发生后所述工艺设备的预测工作状态数据，并将所述...
【技术特征摘要】
1.一种附属设备的控制装置，其特征在于，包括：连接工艺设备的事件服务器、与所述事件服务器连接的控制服务器；
所述事件服务器获取所述工艺设备的当前处理事件及当前工作状态，并将所述当前处理事件及所述当前工作状态传送至所述控制服务器；
所述控制服务器包括：存储模块，连接所述存储模块、并与所述事件服务器连接的处理模块，连接所述处理模块、并与附属设备连接的控制模块；
所述存储模块存储有历史处理事件与历史工作状态数据的对应关系；
所述处理模块获取所述对应关系，并根据所述工艺设备的当前处理事件、以及所述对应关系，计算在所述当前处理事件发生后所述工艺设备的预测工作状态数据，并将所述预测工作状态数据传送至所述控制模块；
所述控制模块依据所述预测工作状态数据控制所述附属设备的工作状态跟随所述工艺设备的当前工作状态的变化而变化。
2.根据权利要求1所述的附属设备的控制装置，其特征在于，
所述事件服务器检测所述工艺设备的工作状态，并将所述工作状态传送至所述处理模块；其中，所述工作状态包括运行状态和非运行状态，所述预测工作状态数据至少包括：预测运行状态间隔时长；
所述处理模块获取到所述工艺设备进入所述非运行状态时，触发所述控制模块；
所述控制模块被触发后控制所述附属设备进入所述非运行状态，并维持所述附属设备处于所述非运行状态所述预测运行状态间隔时长。
3.根据权利要求2所述的附属设备的控制装置，其特征在于，
所述处理模块还包括：状态判断子模块以及时间判断子模块；所述状态判断子模块连接所述工艺设备，所述时间判断子模块连接所述状态判断子模块及所述控制模块；
所述控制模块包括：第一子控制模块、第二子控制模块；所述第一子控制模块和所述第二子控制模块均连接所述处理模块以及所述附属设备；
所述状态判断子模块判断所述工艺设备是否进入所述非运行状态，并在进入所述非运行状态时，触发所述时间判断子模块，其中，所述非运行状态包括待机状态和停机状态；
所述时间判断子模块被触发后判断所述预测运行状态间隔时长是否小于预设时长，若判定所述预测运行状态间隔时长小于预设时长，则触发所述第一子控制模...
【专利技术属性】
技术研发人员：李洛汉，
申请(专利权)人：长鑫存储技术有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34
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