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本实用新型涉及到一种具有溅射电极的电容薄膜压力传感器，属于真空测量技术领域。它由两个弹性金属片Ａ、Ａ′构成参考真空室，固定电极Ｂ和Ｂ′是采用磁控溅射方法分别在陶瓷基片Ｆ，Ｆ′上沉积的金属薄膜，陶瓷基片Ｆ，Ｆ′同时构成绝缘外壳。其优点是：１．...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

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