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本发明涉及一种具有阶梯形结构的JBS两级管器件结构及其制造方法,在第一导电类型重掺杂衬底上设第一导电类型外延层,在第一导电类型外延层上表面内设呈阶梯形结构的第二导电类型体区,第二导电类型体区的宽度从下往上呈逐层增大设置,在第一导电类型外延层...该专利属于苏州凤凰芯电子科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州凤凰芯电子科技有限公司授权不得商用。
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本发明涉及一种具有阶梯形结构的JBS两级管器件结构及其制造方法,在第一导电类型重掺杂衬底上设第一导电类型外延层,在第一导电类型外延层上表面内设呈阶梯形结构的第二导电类型体区,第二导电类型体区的宽度从下往上呈逐层增大设置,在第一导电类型外延层...