下载一种切割效率高的半导体加工用切割装置的技术资料

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本实用新型属于半导体加工领域,具体公开了一种切割效率高的半导体加工用切割装置,包括底座、切割平台、支撑架与切割机构,底座具有腔体,腔体内设置有输送电机,底座顶部安装有切割平台;切割平台上设置有输送组件,切割平台端部固装有支撑架,输送组件置于...
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