下载具有疏水涂层的压力传感器的技术资料

文档序号:2559643

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本发明涉及一种用于测量压力的压力传感器,包括:压力室;以及形变体,其可以被加载要测量的压力下的介质,且至少部分地限制压力室并以压力密封的方式将该压力室对于介质关闭;其中传感器室的壁具有疏水涂层,该疏水涂层通过气相淀积来施加。疏水涂层优选地包...
该专利属于恩德莱斯和豪瑟尔两合公司所有,仅供学习研究参考,未经过恩德莱斯和豪瑟尔两合公司授权不得商用。

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