具有疏水涂层的压力传感器制造技术

本发明专利技术涉及一种用于测量压力的压力传感器，包括：压力室；以及形变体，其可以被加载要测量的压力下的介质，且至少部分地限制压力室并以压力密封的方式将该压力室对于介质关闭；其中传感器室的壁具有疏水涂层，该疏水涂层通过气相淀积来施加。疏水涂层优选地包括硅烷。特别适合的是具有一或多个疏水基团Ｒ和一或多个结合基团Ｘ的硅烷。特别优选为：Ｒ－Ｓｉ－Ｘ↓［３］、Ｒ↓［１］Ｒ↓［２］－Ｓｉ－Ｘ↓［２］、Ｒ↓［１］Ｒ↓［２］Ｒ↓［３］－Ｓｉ－Ｘ。疏水基团Ｒ优选为烷基、全氟烃基、苯基或全氟苯基基团。结合基团Ｘ优选为ＯＨ（硅烷醇）、－Ｘ（卤化物、例如Ｃ１）、－ＯＲ（酯，例如ＯＣＨ↓［３］）、－ＮＨ↓［２］（胺）或ＳＨ（疏基硅烷）。此外，可以使用脂肪族或环族硅氮烷Ｓｉ－ＮＨ－Ｓｉ，例如六甲基二硅氮烷。同样合适的有Ｒ↓［ｙ］－Ｍｅ－Ｘ↓［ｚ］类型的组合物，Ｍｅ例如为Ｚｒ、Ｔｉ。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种压力传感器，特别涉及一种具有疏水涂层的相对压力传感器。
技术介绍
相对压力传感器通常测量正被测量的介质上的压力与当前周围大气压力之间的压差。一般而言，相对压力传感器包括基体，测量膜或振动膜压力密封地附接在其边缘上，在测量膜与基体之间形成了压力室。对于相对压力测量，通过基体中的开口把参考空气导入压力室，并且背对测量室的测量膜表面被加载正被测量的压力。测量膜所发生的形变是相对压力的量度，且被以合适的方式转换为测量信号。上述的导入参考空气会把水分导入压力室，当温度降低至露点时，水分在传感器里面凝聚。这会降低传感器的功能。特别在传感器周围的空气具有高于要测量其压力的介质的温度时更是如此。甚至在还未出现具有不希望出现的副作用的宏观凝聚时，仍然有一部分水分子已被从气相中吸附到传感器内的表面上，这一部分是相关表面的温度与该表面和水分子之间的吸附能量的函数。吸附能量越大，则有更多的水分子积聚在传感器内的表面上。在陶瓷压力传感器的情况中，所描述的问题由于与制造相关的材料属性而更加严重，如下所述。测量膜和基体的原料就是所谓的生坯，生坯由粉状原材料和粘合剂形成，然后进行烧结，因此烧结本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于测量压力的压力传感器，其具有：传感器室；以及形变体，其可以被供给要测量的压力下的介质，并且其另外至少在该室的部分上密封传感器室，使其与介质压力密封；其中传感器室的壁具有疏水涂层，其特征在于，该疏水涂层 通过气相淀积而施加。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：弗兰克黑格纳，武尔费特德鲁斯，安德烈亚斯罗斯贝格，埃尔克施密特，
申请(专利权)人：恩德莱斯和豪瑟尔两合公司，
类型：发明
国别省市：DE[德国]