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本实用新型涉及半导体制造设备技术领域，具体涉及一种用于反应室的晶片传动装置。包括均为内部中空的方形腔体结构的反应室与搬运室，二者之间通过闸阀连通，反应室内设有晶片支撑部件，搬运室内设有机械传送部件；晶片支撑部件包括内环基座和外环基座；内环基...该专利属于浙江求是半导体设备有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江求是半导体设备有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司授权不得商用。