下载半导体器件及其制造方法的技术资料

文档序号:25552621

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本公开的实施例涉及半导体器件及其制造方法。在具有由鳍型MISFET配置的MONOS存储器的半导体器件中,防止了布线之间的寄生电容伴随半导体器件小型化的增加,并且提高了半导体器件的可靠性。在存储器单元阵列中,其中布置了在鳍上形成的多个MONO...
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