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本发明提供一种基板处理装置、基板处理方法以及接合方法，能够恰当地检测附着于吸盘的异物。基板处理装置具有：吸盘，其对基板进行吸附保持；观察部，其对被所述吸盘吸附保持的基板的、与接触所述吸盘的第一面相反一侧的第二面内的多个部位进行观察；以及分析...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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