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带电粒子束描绘方法以及带电粒子束描绘装置制造方法及图纸
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下载带电粒子束描绘方法以及带电粒子束描绘装置的技术资料
文档序号:25520245
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一种带电粒子束描绘方法以及带电粒子束描绘装置,实施方式所涉及的带电粒子束描绘方法一边使基板移动一边对其照射带电粒子束,对将上述基板的描绘区域以宽度W分割而成的多个条带的每个依次描绘图案。在该方法中,将针对每个条带一边以设定的条带偏移量在上述...
该专利属于纽富来科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过纽富来科技股份有限公司授权不得商用。
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