下载弹性波装置的技术资料

文档序号:25502442

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提供一种能提高布线等的布局的自由度的弹性波装置。弹性波装置(1)在压电基板(2)上设置IDT电极(3),设置支承层(8)使得包围IDT电极,在支承层上设置用于构成中空部(Z)的覆盖层(9),在设置为贯穿支承层及覆盖层的过孔(10)设置过孔电...
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