弹性波装置制造方法及图纸

提供一种能提高布线等的布局的自由度的弹性波装置。弹性波装置(1)在压电基板(2)上设置IDT电极(3)，设置支承层(8)使得包围IDT电极，在支承层上设置用于构成中空部(Z)的覆盖层(9)，在设置为贯穿支承层及覆盖层的过孔(10)设置过孔电极(11、12)，设置与过孔电极接合的由金属凸块构成的外部端子(13、14)，过孔电极具有位于压电基板侧的下表面和与外部端子连接的上表面，过孔电极的下表面的中心和过孔电极的上表面的中心在相对于压电基板的上表面垂直的剖面在连结支承层的内侧面和支承层的外侧面的方向上处于不同的位置，且过孔电极的下表面的内侧端和过孔电极的上表面的内侧端在上述方向上处于不同的位置。

【技术实现步骤摘要】
弹性波装置
本技术涉及在压电基板上层叠有支承层以及覆盖层的弹性波装置。
技术介绍
以往，已知有WLP构造的弹性波装置。在下述的专利文献1记载的弹性波装置中，在压电基板上层叠有支承层以及覆盖层。支承层具有开口部，在开口部内配置有设置于压电基板上的IDT电极。在支承层上设置有覆盖层，使得覆盖该开口部，由此构成了中空部。与IDT电极电连接的过孔电极设置为贯通支承层以及覆盖层。在该过孔电极的上表面作为外部端子接合有金属凸块。在先技术文献专利文献专利文献1：日本特开2010-278972号公报在弹性波装置中，也与其它电子部件同样地在推进小型化。在专利文献1记载的WLP构造中，若推进小型化，则在压电基板上、覆盖层的外表面或内表面中，想要形成布线、电极时的布局受到限制。
技术实现思路
技术要解决的课题本技术的目的在于，提供一种能够提高布线等的布局的自由度的弹性波装置。用于解决课题的技术方案本技术涉及的弹性波装置具备：压电基板；IDT电极，设置在所述压电基板上；支承层，设置为包围所述IDT本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种弹性波装置，其特征在于，具备：/n压电基板；/nIDT电极，设置在所述压电基板上；/n支承层，设置为包围所述IDT电极；以及/n覆盖层，设置在所述支承层上，与所述压电基板以及所述支承层一起构成了配置有所述IDT电极的中空部，/n并具备：/n过孔电极，设置于过孔，该过孔设置为贯穿所述支承层以及所述覆盖层；以及/n由金属凸块构成的外部端子，与所述过孔电极接合，/n所述过孔电极具有位于所述压电基板侧的下表面和与所述外部端子连接的上表面，所述过孔电极的所述下表面的中心和所述过孔电极的所述上表面的中心在相对于所述压电基板的上表面垂直的剖面中关于连结所述支承层的内侧面和所述支承层的外侧面的方向处于...

【技术特征摘要】
20190326 JP 2019-0579081.一种弹性波装置，其特征在于，具备：
压电基板；
IDT电极，设置在所述压电基板上；
支承层，设置为包围所述IDT电极；以及
覆盖层，设置在所述支承层上，与所述压电基板以及所述支承层一起构成了配置有所述IDT电极的中空部，
并具备：
过孔电极，设置于过孔，该过孔设置为贯穿所述支承层以及所述覆盖层；以及
由金属凸块构成的外部端子，与所述过孔电极接合，
所述过孔电极具有位于所述压电基板侧的下表面和与所述外部端子连接的上表面，所述过孔电极的所述下表面的中心和所述过孔电极的所述上表面的中心在相对于所述压电基板的上表面垂直的剖面中关于连结所述支承层的内侧面和所述支承层的外侧面的方向处于不同的位置，且所述过孔电极的所述下表面的内侧端和所述过孔电极的所述上表面的内侧端关于连结所述支承层的内侧面和所述支承层的外侧面的所述方向处于不同的位置。


2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其特征在于，
所述过孔电极不具有弯曲部。<...

【专利技术属性】
技术研发人员：平野康彦，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：新型
国别省市：日本;JP