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本申请属于半导体加工设备技术领域，具体涉及一种硅片抛光加工过程中抛光设备用蜡嘴保湿装置。该装置包括：连接有阻凝液盛放容器的阻凝管路、以及固定阻凝管路的固定支架；所述阻凝液盛放容器，用于盛放阻凝管路与抛光设备的蜡嘴接触处阻凝管路所流出的阻凝液...
该专利属于郑州合晶硅材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过郑州合晶硅材料有限公司授权不得商用。

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