一种硅片抛光加工过程中抛光设备用蜡嘴保湿装置制造方法及图纸

本申请属于半导体加工设备技术领域，具体涉及一种硅片抛光加工过程中抛光设备用蜡嘴保湿装置。该装置包括：连接有阻凝液盛放容器的阻凝管路、以及固定阻凝管路的固定支架；所述阻凝液盛放容器，用于盛放阻凝管路与抛光设备的蜡嘴接触处阻凝管路所流出的阻凝液；所述阻凝管路，一端与抛光设备的蜡嘴连接，另外一端与阻凝液输送管路连接；所述固定支架，包括：竖向固定底座、横向固定支架和阻凝管固定架三个部分。本申请所设计的蜡嘴保湿装置，较好实现了蜡嘴保湿的目标，改善了长时间停机所造成蜡嘴管口凝固、堵塞等现象；对于确保硅片抛光加工过程中涂蜡均匀性、提高抛光良率具有较好的实用价值。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片抛光加工过程中抛光设备用蜡嘴保湿装置
本申请属于半导体加工设备
，具体涉及一种硅片抛光加工过程中抛光设备用蜡嘴保湿装置。
技术介绍
作为半导体加工基础生产原料，对硅片进行抛光处理是进行后续加工生产必不可少的加工步骤。硅片抛光主要目的之一在于使硅片表面足够平整，因此抛光后平坦度是硅片抛光加工处理的主要指标之一。现有技术中，对硅片进行抛光加工处理时，需要先将硅片进行固定，然后再利用抛光设备进行抛光加工。而常用硅片固定方式有机械夹持式、石蜡粘接式、水力吸附式等方式，其中机械夹持式因对硅片不可避免的潜在变形损害，因此应用范围较为有限，而水力吸附式因其生产成本、复杂度等原因，应用范围也较为有限，而石蜡粘接式因其便捷性等原因，是目前应用最为普遍的硅片固定方式。利用石蜡粘接式对硅片进行抛光加工时，其主要过程为：先将硅片放置在夹具上的规定位置，然后将将熔化的石蜡渗入到硅片与夹具之间（仅供给不使硅片浮起的必要量），然后在工件上进行加压，使石蜡将硅片平整的粘接固定在陶瓷盘上，进而利用抛光设备对硅片正面进行抛光。但实际加工应用过本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅片抛光加工过程中抛光设备用蜡嘴保湿装置，其特征在于，该装置包括：连接有阻凝液盛放容器的阻凝管路、以及固定阻凝管路的固定支架；/n所述阻凝液盛放容器，用于盛放阻凝管路与抛光设备的蜡嘴接触处阻凝管路所流出的阻凝液；/n所述阻凝管路，一端与抛光设备的蜡嘴连接，另外一端与阻凝液输送管路连接；/n所述固定支架，包括：竖向固定底座、横向固定支架和阻凝管固定架三个部分；/n其中竖向固定底座为一“L”型结构，用于将装置整体固定在台面上；/n横向固定支架，为一与竖向固定底座呈直角连接关系的“L”形结构，其竖臂与竖向固定底座为可拆卸式连接，其横臂与阻凝管固定架为可拆卸式连接；/n阻凝管固定架，为一与横向...

【技术特征摘要】
1.一种硅片抛光加工过程中抛光设备用蜡嘴保湿装置，其特征在于，该装置包括：连接有阻凝液盛放容器的阻凝管路、以及固定阻凝管路的固定支架；
所述阻凝液盛放容器，用于盛放阻凝管路与抛光设备的蜡嘴接触处阻凝管路所流出的阻凝液；
所述阻凝管路，一端与抛光设备的蜡嘴连接，另外一端与阻凝液输送管路连接；
所述固定支架，包括：竖向固定底座、横向固定支架和阻凝管固定架三个部分；
其中竖向固定底座为一“L”型结构，用于将装置整体固定在台面上；
横向固定支架，为一与竖向固定底座呈直角连接关系的“L”形结构，其竖臂与竖向固定底座为可拆卸式连接，其横臂与阻凝管固定架为可拆卸式连接；
阻凝管固定架，为一与横向固定支架呈直角连接关系的“L”形结构，其竖直面板上固定有阻凝管路，其横向面板上与横向固定支架为可拆卸式连接。


2.如权利要求1所述硅片抛光加工过程中抛光设备用蜡嘴保湿装置，其特征在于，盛放容器内设有吸附阻凝液的吸附材料。
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【专利技术属性】
技术研发人员：吴泓明，党国洋，钟佑生，陈志刚，周军磊，
申请(专利权)人：郑州合晶硅材料有限公司，
类型：新型
国别省市：河南;41