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本发明公开了一种射频电源的谐波监控系统以及监控方法、半导体设备系统，该射频电源用于为铁氧体耦合感应等离子体工艺设备供电，该射频电源的谐波监控系统包括：与射频电源连接的谐波分析仪，谐波分析仪用于测定射频电源的谐波，获得射频电源的总谐波失真；与...该专利属于中国科学院微电子研究所;真芯(北京)半导体有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所;真芯(北京)半导体有限责任公司授权不得商用。