射频电源的谐波监控系统以及监控方法、半导体设备系统技术方案

本发明专利技术公开了一种射频电源的谐波监控系统以及监控方法、半导体设备系统，该射频电源用于为铁氧体耦合感应等离子体工艺设备供电，该射频电源的谐波监控系统包括：与射频电源连接的谐波分析仪，谐波分析仪用于测定射频电源的谐波，获得射频电源的总谐波失真；与谐波分析仪连接的监视器，监视器用于实时显示总谐波失真。本发明专利技术提供的射频电源的谐波监控系统以及监控方法、半导体设备系统，可以实时对射频电源的谐波进行监测。

【技术实现步骤摘要】
射频电源的谐波监控系统以及监控方法、半导体设备系统
本专利技术涉及半导体工艺设备
，具体涉及一种射频电源的谐波监控系统以及监控方法、半导体设备系统。
技术介绍
等离子体(plasma)又被叫做电浆，是由部分电子被剥夺后的原子及原子团被电离后产生的正负离子组成的离子化气体状物质，其运动主要受电磁力支配，并表现出显著的集体行为。等离子体被广泛应用于半导体器件的生产过程，在等离子体刻蚀或者离子体沉积等系统中，需要射频电源向工艺腔室提供射频能量以产生等离子体。在铁氧体耦合感应等离子体(FCIP，FerriteCoupledInductionPlasma)工艺设备工作时，环形磁芯产生的磁场会影响射频电源的谐波，容易使得射频电源的谐波过大，铁氧体耦合感应等离子体工艺设备以及共用电力配电盘的其他半导体工艺设备供电异常，导致铁氧体耦合感应等离子体工艺设备以及共用电力配电盘的其他半导体工艺设备工作异常，出现不良工艺的情况。
技术实现思路
本专利技术所要解决的是铁氧体耦合感应等离子体工艺设备影响射频电源的谐波从而造成不良工艺的问题本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种射频电源的谐波监控系统，所述射频电源用于为铁氧体耦合感应等离子体工艺设备供电，其特征在于，包括：/n与所述射频电源连接的谐波分析仪，所述谐波分析仪用于测定所述射频电源的谐波，获得所述射频电源的总谐波失真；/n与所述谐波分析仪连接的监视器，所述监视器用于实时显示所述总谐波失真。/n

【技术特征摘要】
1.一种射频电源的谐波监控系统，所述射频电源用于为铁氧体耦合感应等离子体工艺设备供电，其特征在于，包括：
与所述射频电源连接的谐波分析仪，所述谐波分析仪用于测定所述射频电源的谐波，获得所述射频电源的总谐波失真；
与所述谐波分析仪连接的监视器，所述监视器用于实时显示所述总谐波失真。


2.根据权利要求1所述的射频电源的谐波监控系统，其特征在于，所述射频电源包括交流输入模块、AC-DC变换模块以及射频模块，所述交流输入模块包括变压器和滤波电感；
所述变压器与电力配电盘连接，用于对所述电力配电盘提供的交流电进行变压处理；
所述滤波电感与所述变压器连接，用于对所述变压器输出的交流电进行滤波处理；
所述AC-DC变换模块与所述滤波电感连接，用于将所述滤波电感输出的交流电变换为直流电；
所述射频模块与所述AC-DC变换模块连接，用于将所述AC-DC变换模块输出的直流电变换为射频电流。


3.根据权利要求2所述的射频电源的谐波监控系统，其特征在于，所述谐波分析仪的输入端连接所述电力配电盘和所述变压器之间的交流输电线；或者，
所述谐波分析仪的输入端连接所述变压器和所述滤波电感之间的交流输电线；或者，
所述谐波分析仪的输入端连接所述滤波电感和所述AC-DC变换模块之间的交流输电线。


4.根据权利要求1所述的射频电源的谐波监控系统，其特征在于，所述监视器还用于显示谐波上限值、谐波下限值以及谐波参考值。


5.根据权利要求4所述的射频电源的谐波监控系统，其特征在于，还包括：
与所述监视器连接的控制器，所述控制器用于存储所述总谐波失真。


6.根据权利要求5所述的射频电源的谐波监控系统，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔珍善，周娜，李琳，李俊杰，
申请(专利权)人：中国科学院微电子研究所，真芯北京半导体有限责任公司，
类型：发明
国别省市：北京;11