下载一种衬底弯曲形状的测量方法、装置、存储介质及终端的技术资料

文档序号:25442519

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本发明提供一种衬底弯曲形状的测量方法、装置、存储介质及终端。该方法在不同方向上对衬底表面进行线扫描获得扫描曲线,对不同方向上的扫描曲线分别进行曲线拟合获得拟合曲线,并根据拟合曲线的平均曲率及弧长求得拟合曲线的弯曲角度,根据该弯曲角度测量并判...
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