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基板涂敷方法技术
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文档序号:25425204
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一种基板涂敷方法,包括:在基板上设定靠近所述基板第二短边端的涂敷下调线;在所述涂敷暂停线和所述基板第二短边端之间设定区域边界线;进行主体涂敷操作;进行减液涂敷操作;进行逆向涂敷操作。所述基板涂敷方法节省成本且防止涂敷边缘不良。...
该专利属于芯米(厦门)半导体设备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过芯米(厦门)半导体设备有限公司授权不得商用。
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