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基于MEMS传感器的V锥流量测量装置制造方法及图纸
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下载基于MEMS传感器的V锥流量测量装置的技术资料
文档序号:2533423
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本发明涉及一种流量测量装置,尤其是基于MEMS传感器的V锥流量测量装置。该装置由法兰、测量管、支撑架、MEMS敏感芯体、封装结构、正取压口、负取压口、V型锥体组件及信号线构成。该装置将MEMS敏感芯体置于V型锥体内部,取压口也位于测量管内,...
该专利属于大连海事大学所有,仅供学习研究参考,未经过大连海事大学授权不得商用。
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