基于MEMS传感器的V锥流量测量装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种流量测量装置，尤其是基于ＭＥＭＳ传感器的Ｖ锥流量测量装置。该装置由法兰、测量管、支撑架、ＭＥＭＳ敏感芯体、封装结构、正取压口、负取压口、Ｖ型锥体组件及信号线构成。该装置将ＭＥＭＳ敏感芯体置于Ｖ型锥体内部，取压口也位于测量管内，取消了传统Ｖ锥流量计需要引压到管外的结构。根据流量－差压数学关系模型和现场实际标定，实现对流量的动态和稳态测量。本发明专利技术解决了传统Ｖ锥流量计动态特性差，误差大，损耗高等问题。同时，为Ｖ锥流量计实现标准化创造了必要条件，有利于Ｖ锥流量计的推广应用。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种流体流量测量装置，尤其涉及一种基于MEMS传感器对圆管内进行低损 耗高响应的V锥型流量测量装置。
技术介绍
V锥型流量计是利用同轴安装在测量管道中的V型尖圆锥将流体逐渐地节流收縮到管道的内边壁，通过测量此v型内锥体前后的压力差来测量流量。目前，v锥流量计并未实现标准化。传统的V锥流量计包括一个在测量管中同轴安装的尖圆锥体和测量管上的两个取压口。此类流量计通常体积较大，给管路带来的能量损失较多，差压发生装置与差压变送装置分离， 需要专门管路将压力差引到管外进行比较。这一方面容易积聚气体和脏垢，影响流量计的稳态测量精度，而增加维修维护成本；另一方面由于普通差压变送器的响应频率限制，使得流量计的动态响应很差，往往不能满足一些工业控制现场的需要，并且此类差压变送器加工成本较高。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供…种基于MEMS传感器的V锥流量测量装置，解决传统V锥流 量计动态特性差，误差大，损耗高等问题，同时，为V锥流量计实现标准化创造了必要条件， 有利于V锥流量计的推广应用。本专利技术的技术方案是基于MEMS传感器的V锥滩量测量装置，该装置由法兰l、测量管 2、支撑架本文档来自技高网...

【技术保护点】
基于ＭＥＭＳ传感器的Ｖ锥流量测量装置，其特征在于，该装置由法兰（１）、测量管（２）、支撑架（３）、Ｖ型锥体组件（６）、负取压口（７）、正取压口（９）及传感器部分的ＭＥＭＳ敏感芯体（４）、封装结构（５）、信号线（８）构成；测量管（２）两端设法兰（１）；Ｖ型锥体组件（６）通过支撑架（３）同轴固定在测量管（２）内部；ＭＥＭＳ敏感芯体（４）被封装在封装结构（５）中，置于Ｖ型锥体组件（６）内部或嵌在Ｖ型锥体组件（６）直管壁或锥面壁中，并保持密封；正取压口（９）与负取压口（７）均设在Ｖ型锥体组件（６）上，位于测量管（２）内部；ＭＥＭＳ敏感芯体（４）的两个取压管分别通过正取压口（９）与负取压口（７）接触高压...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张洪朋，安骥，左春宽，纪玉龙，顾长智，孙玉清，
申请(专利权)人：大连海事大学，
类型：发明
国别省市：91[中国|大连]