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集成式热释电薄膜红外探测器制造技术
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文档序号:2531878
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集成式热释电薄膜红外探测器,属于一种热敏红外探测器,主要由包含热释电薄膜6、吸收电极8和传导电极7的红外敏感元1,制有放大电路的硅片衬底2和热绝缘隔离层9构成,热释电薄膜直接沉积附着在硅片衬底上。在硅片衬底2与热绝缘层9之间可有二氧化硅电路...
该专利属于四川大学所有,仅供学习研究参考,未经过四川大学授权不得商用。
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