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一种晶圆缺陷检测设备，包括：晶圆载台，用于固定待检测晶圆；图像获取模块，所述图像获取模块包括摄像头阵列，所述图像获取模块通过摄像头阵列一次拍摄获得待检测晶圆整个表面对应的检测图像；缺陷判断模块，所述缺陷判断模块根据图像获取模块获得的检测图像...
该专利属于上海果纳半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海果纳半导体技术有限公司授权不得商用。

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