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阀以及具备阀的流体控制装置制造方法及图纸
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下载阀以及具备阀的流体控制装置的技术资料
文档序号:25278814
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阀具备第一阀壳体、第二阀壳体、隔膜、第一固定部、以及第二固定部,隔膜与第一阀壳体一起形成上游侧阀室,与第二阀壳体一起形成下游侧阀室,并能够在使上游侧阀室和下游侧阀室成为非连通状态的第一位置和使上游侧阀室和下游侧阀室成为连通状态的第二位置之间...
该专利属于株式会社村田制作所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社村田制作所授权不得商用。
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