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本发明公开了一种电容式微机械陀螺，用来解决现有技术中不能实现驱动模态与检测模态的解耦问题，其特征在于：两根驱动梳齿梁（２８）分别与固定在内锚点（９６）上的内驱动弯曲梁（７２）和连接在惯性质量平板框架（２２）上的内敏感弯曲梁（７４）相连；驱动...
该专利属于西北工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过西北工业大学授权不得商用。

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