温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明对在制造工艺中收集到的数据实现通用性高的数据处理。数据处理装置具有：计算单元，收集与工艺内的规定步骤建立对应的数据群，并关于各个数据群来计算该规定步骤中的效果；分割单元，分割特征空间，以便与上述规定步骤建立对应的多个数据群各自在该特征...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。