数据处理装置、数据处理方法以及程序制造方法及图纸

本发明专利技术对在制造工艺中收集到的数据实现通用性高的数据处理。数据处理装置具有：计算单元，收集与工艺内的规定步骤建立对应的数据群，并关于各个数据群来计算该规定步骤中的效果；分割单元，分割特征空间，以便与上述规定步骤建立对应的多个数据群各自在该特征空间中的分布按计算出的每一上述效果被分类；以及输出单元，输出特定数据，该特定数据特定分割后的上述特征空间的各区域。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】数据处理装置、数据处理方法以及程序
本专利技术涉及数据处理装置、数据处理方法以及程序。
技术介绍
以往，公知有收集在各种制造工艺(例如，半导体制造工艺)中运用或者测定出的数据，并进行各种解析的数据处理装置。通过使用该数据处理装置来进行收集到的数据的解析，从而制造工艺的模型化、模拟处理的执行等成为可能，能够实现制造工艺的最佳化、产品质量的提高。专利文献1：美国专利申请公开第二017/0177997号说明书专利文献2：美国专利申请公开第二015/0211122号说明书专利文献3：日本特开2009-152269号公报另一方面，制造工艺的模型化花费时间与成本。另外，使模拟精度提高需要对每个制造设备分别独立地构建模型，即使是同种的制造工艺，在制造设备不同的情况下，也需要重新构建模型。因此，以往的数据处理装置对在制造工艺中收集到的数据进行的数据处理既花费时间与成本，又存在缺乏通用性这一问题。
技术实现思路
在一个侧面中，以对在制造工艺中收集到的数据实现通用性高的数据处理为目的。根据一形式，数据处理本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种数据处理装置，具有：/n计算单元，收集与工艺内的规定步骤建立对应的数据群，并关于各个数据群来计算该规定步骤中的效果；/n分割单元，分割特征空间，以便按计算出的每一上述效果分类与上述规定步骤建立对应的多个数据群各自的在上述特征空间中的分布；以及/n输出单元，输出特定数据，该特定数据特定分割后的上述特征空间的各区域。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20171228 JP 2017-2536941.一种数据处理装置，具有：
计算单元，收集与工艺内的规定步骤建立对应的数据群，并关于各个数据群来计算该规定步骤中的效果；
分割单元，分割特征空间，以便按计算出的每一上述效果分类与上述规定步骤建立对应的多个数据群各自的在上述特征空间中的分布；以及
输出单元，输出特定数据，该特定数据特定分割后的上述特征空间的各区域。


2.根据权利要求1所述的数据处理装置，其中，
上述计算单元基于表示执行上述工艺内的规定步骤前的状态的第一数据与表示执行上述工艺内的规定步骤后的状态的第二数据的差值，来关于各个数据群来计算上述效果。


3.根据权利要求1所述的数据处理装置，其中，
上述分割单元分割上述特征空间，以便计算出的上述效果为同等程度的数据群彼此被分类为相同的组。


4.根据权利要求3所述的数据处理装置，其中，
上述分割单元基于包含于上述数据群的各数据对上述效果的贡献度，来将包含于上述数据群的各数据加权，通过使用包含加权后的各数据的数据群，来分割上述特征空间。


5.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：铃木淳司，加藤隆彦，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP