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本发明涉及一种体声波谐振器，包括：基底；声学镜；底电极；顶电极；压电层，设置在底电极与顶电极之间，其中：所述声学镜、底电极、顶电极和压电层在谐振器的厚度方向上的重叠区域构成谐振器的有效区域；且所述谐振器的上表面在有效区域内设置有质量负载阵列...
该专利属于诺思(天津)微系统有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过诺思(天津)微系统有限责任公司授权不得商用。

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