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本发明的半导体器件检查装置(1)具备：光传感器(12)，其检测来自输入有电信号的DUT即半导体器件(10)的光；光学系统，其将来自半导体器件(10)的光向光传感器(12)导光；及控制装置(18)，其电连接于光传感器(12)；且控制装置(18...
该专利属于浜松光子学株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过浜松光子学株式会社授权不得商用。

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