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一实施方式的离子化方法包括：第1步骤，其准备具有基片和导电层(4)的试样支承体，其中，基片形成有在彼此相对的第1表面(2a)和第2表面(2b)具有开口的多个贯通孔(2c)，导电层(4)至少设置于第1表面；第2步骤，在试样支承体以第2表面位于...
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