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试样支承体、试样支承体的制造方法和试样的离子化方法技术
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下载试样支承体、试样支承体的制造方法和试样的离子化方法的技术资料
文档序号:25196539
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本发明的试样支承体包括:具有彼此相对的第一表面和第二表面的基板;和至少设置在第一表面的导电层。在基板和导电层,形成有在导电层的与基板相反的一侧的第三表面和第二表面开口的多个贯通孔。对第二表面和第三表面的至少一者,进行用于使对水的亲和性在第二...
该专利属于浜松光子学株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过浜松光子学株式会社授权不得商用。
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