下载用于对传感器操作进行热调节的系统和方法的技术资料

文档序号:25184246

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一种在传感器芯片上制造自调节传感器单元的方法、位于传感器芯片上的自调节传感器单元和传感器芯片,所述方法包括:将一个或多个温度调节装置和所述传感器单元附接于共用传感器芯片上;以及在所述一个或多个温度调节装置与所述传感器单元之间提供热连通。...
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