下载一种用于节距移动的测量基底及其制备方法、测量方法的技术资料

文档序号:25180364

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本发明属于光学测量技术领域,公开了一种用于节距移动的测量基底及其制备方法、测量方法。测量基底上设置有测量标记,测量标记包括多个标记单元并构成周期性的第一光栅结构;每个标记单元包括2n个标记线条并构成非对称型的第二光栅结构。制备方法包括设计测...
该专利属于武汉大学所有,仅供学习研究参考,未经过武汉大学授权不得商用。

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