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本申请实施例提供了一种半导体加工设备。该半导体加工设备包括工艺腔室、装载腔室、花篮，装载腔室内设置有用于承载花篮的定位板；花篮的底板具有相对设置的进料端及止挡端，花篮内具有多个层叠设置的容置槽，且容置槽的开口位于进料端一侧；定位板上设置有伸...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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