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半导体装置及其制造方法制造方法及图纸
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文档序号:25127897
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半导体装置(100)具备:半导体基板(110),具有相互对置的第一主面(110A)以及第二主面(110B);以及多孔金属氧化膜(180),形成在半导体基板(110)的第一主面(110A)侧,并且具有多个细孔。半导体基板(110)构成为:在第...
该专利属于株式会社村田制作所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社村田制作所授权不得商用。
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