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乙炔基衍生的复合物、包含其的组合物、通过其制造涂层的方法以及制造包含该涂层的器件的方法技术
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文档序号:25127712
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一个目的是提供一种具有良好耐热性的化合物。本发明的另一个目的是提供一种涂层,该涂层具有较小的膜收缩性,良好的间隙填充性能和良好的平坦性。本发明提供了乙炔基衍生的复合物和包含其的组合物。并且,本发明提供了用其制造涂层的方法以及制造器件的方法。...
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