下载乙炔基衍生的复合物、包含其的组合物、通过其制造涂层的方法以及制造包含该涂层的器件的方法的技术资料

文档序号:25127712

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

一个目的是提供一种具有良好耐热性的化合物。本发明的另一个目的是提供一种涂层,该涂层具有较小的膜收缩性,良好的间隙填充性能和良好的平坦性。本发明提供了乙炔基衍生的复合物和包含其的组合物。并且,本发明提供了用其制造涂层的方法以及制造器件的方法。...
该专利属于默克专利有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过默克专利有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。