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本发明提供一种半导体加工设备的升降装置及半导体加工设备，该升降装置用于驱动半导体加工设备的托盘升降支架和晶片升降支架作升降运动，该升降装置包括：旋转电机，用于提供旋转动力；传动机构，分别与旋转电机和托盘升降支架连接，用以将旋转电机提供的旋转...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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