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本发明提出了一种半导体清洗机的缓存槽，该缓存槽包括：槽体；多组花篮支架，放置于所述槽体内；移动组件，用于将一组花篮支架移动到指定位置。本发明有效地解决了半导体清洗机中，花篮在工艺槽和甩干机之间通过机械手的取放问题，提高了花篮的定位精度高，增...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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