一种半导体清洗机的缓存槽制造技术

本发明专利技术提出了一种半导体清洗机的缓存槽，该缓存槽包括：槽体；多组花篮支架，放置于所述槽体内；移动组件，用于将一组花篮支架移动到指定位置。本发明专利技术有效地解决了半导体清洗机中，花篮在工艺槽和甩干机之间通过机械手的取放问题，提高了花篮的定位精度高，增强传动的可靠性。可有效减少多组花篮从工艺槽转换到甩干机的时间，提升了机台使用效率，扩大了产能。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体清洗机的缓存槽
本专利技术属于半导体制造设备领域，涉及半导体清洗机技术，具体地涉及一种半导体清洗机的缓存槽。
技术介绍
随着半导体市场的持续火热以及市场对于相关产品的巨大需求，客户对于半导体设备的产能需求越来越高。在晶圆清洗环节，现有工艺中使用的2篮清洗设备已经不能满足提高产能的要求。基于此，需要对现有的2篮清洗设备进行改造升级，目标是在现有产能的基础上扩大一倍，于是4篮清洗设备由此应运而生。但是受现有甩干机的尺寸及功能限制，机械手臂由工艺槽向甩干机放置花篮时，一次只能抓取并放置2个花篮。而4篮槽式清洗机的工艺槽中的花篮是4个花篮纵向排列，如何将纵向排列的4个花篮从工艺槽中放到甩干机里就显得尤为关键。因此，有必要设计一种用于多篮槽式的半导体清洗机的缓存槽，解决多篮槽式清洗机的多个花篮在工艺槽和甩干机之间通过机械手的取放问题。
技术实现思路
为了减少机械手臂的复杂程度及保证其可靠性，本专利技术设计了一套缓存槽，用以解决花篮在工艺槽和甩干机之间通过机械手的取放问题，本专利技术能有效实现上述目的，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种半导体清洗机的缓存槽，其特征在于，该缓存槽包括：/n槽体；/n多组花篮支架，放置于所述槽体内；/n移动组件，用于将一组花篮支架移动到指定位置。/n

【技术特征摘要】
1.一种半导体清洗机的缓存槽，其特征在于，该缓存槽包括：
槽体；
多组花篮支架，放置于所述槽体内；
移动组件，用于将一组花篮支架移动到指定位置。


2.权利要求1所述的半导体清洗机的缓存槽，其特征在于，进一步包括花篮支架变距机构，用于调整同一组的多个花篮支架之间的距离。


3.根据权利要求1或2所述的半导体清洗机的缓存槽，其特征在于，包括第一组花篮支架和第二组花篮支架；
所述移动组件用于将所述第二组花篮支架移动到所述第一组花篮支架的位置；
所述第一组花篮支架与所述第二组花篮支架存在空间错位，互不干涉。


4.根据权利要求3所述的半导体清洗机的缓存槽，其特征在于，所述移动组件包括：
移动板，所述第二组花篮支架连接在所述移动板上，能够随所述移动板移动；
滑轨，设置在所述槽体上，所述移动板通过滑块连接到所述滑轨；
驱动装置，用于驱动所述移动板沿着所述滑轨移动。


5.根据权利要求4所述的半导体清洗机的缓存槽，其特征在于，所述驱动装置包括：
减速电机，设置在所述移动板上；
齿轮，设置在电机的转轴上；
齿条，设置在所述槽体上，所述齿轮与齿条配合安装。


6.根据权利要求2所述的半导体清洗机的缓存槽，其特征在于，所述花篮支架变...

【专利技术属性】
技术研发人员：林欣家，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11