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本发明涉及一种对磁盘盘片进行高精度、多种参数测量的表面参数测量仪，属测量仪器技术领域。本发明利用激光外差非接触测量方法，实现对磁盘盘片几何参数的测量。本仪器用气浮导轨驱动光学传感器作径向进给运动，用气浮轴承驱动被测磁盘盘片作回转运动，当被测...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

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